金属ガラス(BMG:Bulk Metallic Glass)とは、アモルファス構造を有する合金です。
この合金を構造解析用基板として用いると、基板の構造情報が低減された、ナノ粒子等の明瞭な構造解析が可能になります。
金属ガラス基板を用いたEBSD法におけるAgサブミクロン粒子の構造解析事例
Cu基金属ガラス基板状にAgサブミクロン粒子を載置し、断面加工処理後にEBSD分析を実施いたしました。
SEM像に対応した方位マッピング像では粒子以外が黒色となるため、粒子個々の結晶構造情報を明瞭に観察・分析が可能になりました
(特願2016-038421)。
測定イメージ図
金属ガラス基板上のAgサブミクロン粒子の二次電子像(a)と方位マッピング像
SEM/EBSDにおけるBMG基板と従来の結晶基板の比較表
比較項目
導電性
測定対象の結晶構造
測定精度
EBSD方位
マッピング像
BMG基板
(Zr基、Cu基など)
〇
どの結晶構造でも可
試料のどの領域でも
精度の良い指数付けが可能
結晶基板
(真鍮や銅などの測定用基板)
〇
基板と異なる構造のみ
試料のエッジ部で基板の結晶
情報が重畳する可能性有
(実施・データ提供元:国立大学法人東北大学 多元物質科学研究所 中村貴宏准教授・真柄英之様)
◆ BMG基板 価格表 ◆
形状 | 組成 | 寸法(径) | 厚み | 販売価格 | 型番 |
丸棒 | Zr基 | φ2 | 1㎜ | 35,000 | 01-02-1 |
2㎜ | 38,000 | 01-02-2 | |||
φ4 | 1㎜ | 42,000 | 01-04-1 | ||
2㎜ | 46,000 | 01-04-2 | |||
φ6 | 1㎜ | 56,000 | 01-06-1 | ||
2㎜ | 61,000 | 01-06-2 | |||
板材 | Zr基 | 幅10×10×t1mm | 70,000 | 02-02-1 | |
幅10×10×t2mm |
82,000 | 02-02-2 |
※丸板-1セット(5枚組)、板材-1セット(1枚)の価格です